真空炉・炉製品

真空高温炉の製造から
メンテナンスまで

高融点金属(タングステン、モリブデン、タンタル)の特殊加工技術で部品を仕上げ、
炉体の組み立てまで、炉体を総合的にコーディネートします。

図版

設計・シミュレーション

長年の経験と知識に加え、3D CAD,熱解析、構造解析等の最新技術・ツールを活用し、装置全体のトータルコーディネートができる設計体制を整えています。

2D CADはAutoCADを使い、チームで効率よく設計する体制を構築しています。また、3D CADにはSolidWorksを使用して検証を行っています。

構造解析、熱解析等にはSolidWorks Flow Simulation を使用して、熱伝導および流体を検証しています。

炉製品

ご要望の仕様(チャンバー形状、均熱ゾーン寸法、加熱対象物の質量・比熱、真空度等)により、
必要な熱量および電力を算出し、ヒーター・リフレクターなどの部品を設計製作します。

炉体(丸形横形)

炉体(丸形縦形)

炉体(角形)

ヒーター(板丸め)

ヒーター(板丸め)

ヒーター(ロッド)

ヒーター(メッシュ)

リフレクター(丸形)

試料台

製品・加工事例 真空炉・炉製品
蒸着ボートカタログ

お問い合わせ

設計から加工、製造、そして分析、サポートまで一貫して対応できる体制を
整えておりますので、お気軽にご相談ください。

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Fax. 045-522-8993
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