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膜は基板のみならずマスク、シールドにも付着し、膜厚が厚くなるにつれ、膜が剥離する危険性が高まります。パーティクルゲッターはこのようなパーツ表面からの膜の剥離を抑制するべく特殊加工された銅板です。これによりパーティクルの低減、また装置内の部品の寿命を延ばす効果が期待できます。
組織の模式図
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| 350μ マルチエンボス | 210μ フラット | 210μ マルチエンボス | ||
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| 210μ エンボス | 140μ 軟化エンボス | 70μ エンボス |
SEM 付着膜：W-Ti
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パーツ表面からの付着膜の剥離を抑制→スパッタ中のパーティクルの減少
低パーティクルによるパーツの交換頻度の減少→装置のダウンタイム減少
薬品による膜の除去を行わないためパーツの消耗が少ない→パーツの長寿命化
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