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| リガク 3070E |
物質にX線を照射すると、物質を構成する元素固有のエネルギー(波長)を持つ蛍光X線(特性X線)が発生します。この蛍光X線のエネルギーを測定すると含有される元素がわかり(定性分析)、各元素の蛍光X線の強さから濃度を計算する(定量分析)ことができます。このように未知の物質にX線を照射し、そこから発生する蛍光X線(特性X線)を測定することで、物質の定性あるいは定量分析を行なう方法を蛍光X線分析法といいます。
蛍光X線分析法の方式には、分光結晶を用いた波長分散形(WDXRF)と半導体検出器(EDS)を用いたエネルギー分散形(EDXRF)があります。
1. 試料調整が容易で、簡単に定性分析ができます。
2. 非破壊分析です。
9F~92U
φ10~φ30以内、厚さ30㎜以内(表面が平坦である事)