走査電子顕微鏡（SEM）+ X線マイクロアナライザー（EDX）･（WDX）

日立計測器　Ｘ－６５０ ＨＯＲＩＢＡ　ＥＭＡＸ－２２００

原理

細く絞られた電子線を固体表面に照射すると､上図に示すように､照射された表面の微小領域から､各元素特有のX線すなわち特性X線が放出されます｡この特性X線をエネルギー分散型の検出器で測定することで､表面微小部分の元素分析や､形状観察を行うことができます｡

特徴

1． 微小領域の元素分析が比較的簡単に行えます｡
2． 光学顕微鏡では分かりにくい､微小な凹凸が確認できます｡
3． 線分析や面分析によって､元素濃度分布が測定できます｡

測定範囲

1． 走査倍率 ： ×30～×10,000
2． ₅Ｂ～₉₂U

分析試料形状

φ25以内、厚さ10㎜以内

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